CVD气相沉积的材料特性和功能特点介绍
时间:2022-04-26 阅读:1359
CVD气相沉积炉管为定制下细上粗不锈钢管,炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔径可单独定制。粉末可放在多孔石英板上,气体从下而上穿过粉末颗粒,当气流速度达到或超过颗粒的临界流速时料层中颗粒呈上下翻腾,在一定温度和气氛下,充分反应沉积。
CVD气相沉积的功能特点:
1、采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的非易燃易爆材料,
2、升温速率快,智能控温,可分段设置,控温稳定度好,热惯性小。同时加热多个温区,且加热区长度可调。
3、可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵,可达真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构);
5、保护管采用合金管,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;
6、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;
7、真空系统:机械泵扩散泵和分子泵,真空密度计
8、可通过电脑全程监控和调试。