CVD气相沉积的材料特性和功能特点介绍
时间：2022-09-19 阅读：773
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CVD气相沉积采用双层壳体结构和40段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，管式炉双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用99刚玉管、两端用不锈钢法兰密封，用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。适用于铜钨合金、铝镍钴永磁、钕铁硼、碳纤维石墨化，碳碳复合材料，碳化硅制品，钨钼及其他合金材料的真空或气氛高温烧结，也可作为其他金属材料的热处理及气相沉积。
CVD气相沉积炉管为定制下细上粗不锈钢管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单独定制。粉末可放在多孔石英板上，气体从下而上穿过粉末颗粒，当气流速度达到或超过颗粒的临界流速时料层中颗粒呈上下翻腾，在一定温度和气氛下，充分反应沉积。
CVD气相沉积的功能特点：
1、采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的非易燃易爆材料，
2、升温速率快，智能控温，可分段设置，控温稳定度好，热惯性小。同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3、可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵，可达真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构）；
5、保护管采用合金管，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
7、真空系统：机械泵扩散泵和分子泵，真空密度计
8、可通过电脑全程监控和调试。