小型蒸镀仪标准操作步骤

小型蒸镀仪是一款小型真空镀膜仪，特别适合蒸镀一些轻金属，如Al.Mg,和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理，zui大可处理的样品直径为50mm。

　　小型蒸镀仪的使用可分为4步，即蒸镀前准备工作、蒸镀仪的预热、蒸镀薄膜以及关机.

　　1、蒸镀前准备工作：

　　1.1）开充气阀，对钟罩内充气，再升钟罩；

　　1.2）根据钟罩内是否清洁，先使用酒精清洗钟罩内的零部件；

　　1.3）安装钼舟，并将铝丝条放入钼舟中，并将所要沉积的衬底粘附于铝板上；

　　1.4）降钟罩，在钟罩下降的同时要观察是否存在物品及杂物存在于钟罩内。

　　2、蒸镀仪的预热：

　　2.1）开机械泵，抽钟罩，接通低真空测量，直至钟罩内真空度降低到5Pa以下；

　　2.2）调节螺丝至10-20帕之间，此时可以对蒸镀衬底材料进行轰击处理，若不需要轰击，则直接进入下一步骤。轰击时间根据需要自己控制，主要为了处理沉积衬底表面。轰击完毕，把轰击转盘调零，再将表盘的“轰击"档转为“关"档；

　　2.3）将低阀推到抽系统位置，待压强低于5Pa后，开扩散泵，预热40分钟。

　　3、蒸镀薄膜：

　　3.1）在预热完毕后，开高阀，约40-60秒后，接通高真空测量(开灯丝)，低真空测量换到扩散泵前级测量，当真空度达到2-3×10-3，满足蒸镀真空要求；

　　3.2）开“工件旋转"档，根据需要调节“工件旋转"的速度（接触调压器值20-30）；

　　3.3）开通烘烤，调节好所需的温度，根据实际需要设置烘烤时间。如果无需烘烤，则可进入下一步进行蒸镀实验；

　　3.4）选好所放电极的位置，接通“蒸发"档，将一颗“铜扭"插入对应的电极位置，开始增大电流（180A左右）进行溶解蒸镀的材料，当发现已经熔解，将挡板挡住蒸发源。待*熔解后，打开挡板，让材料蒸镀到衬底表面；

　　3.5）蒸镀完毕后，各档归零。关高真空测量，关高阀，低阀拉出到“抽钟罩"位置，停机械泵，待工件冷却后，对钟罩充气，升钟罩，取出零件，清洗镀膜室。

　　3.6）如需另外蒸镀，则重新换衬底，电极（钼舟）内加料。

　　4、关机：

　　4.1）如果蒸镀完毕，结束实验时，先关高真空测量，关高阀，停扩散泵，开机械泵。待机2小时退热后，将低阀拉出至“抽钟罩"位置，让钟罩内保持一定的真空度；

　　4.2）关蒸镀仪的总开关；

　　4.3）先关“进水"阀，后关“出水"阀（冷却水）；

　　4.4）关蒸镀仪的电源；

　　4.5）关总电源。

　　4.6）镀膜实验结束后，注意清洗各部分原件，各种材料归位，打扫卫生保持实验室的干净。