喷胶机

SP200喷胶机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-04-25 19:33:34
1483
属性：
应用领域:化工；控温范围:50-150℃；温度均匀性:±1%；光刻胶流量:0.4-20ml/min；加热平台转速:1-30rpm；喷嘴水平移动速度:≤200mm/s；喷嘴水平行程:≤300mm；光刻胶雾化直径:30-50μm；设备尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)；
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产品属性
应用领域
化工
控温范围
50-150℃
温度均匀性
±1%
光刻胶流量
0.4-20ml/min
加热平台转速
1-30rpm
喷嘴水平移动速度
≤200mm/s
喷嘴水平行程
≤300mm
光刻胶雾化直径
30-50μm
设备尺寸
1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
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上海添时科学仪器有限公司

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产品简介

喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

详细介绍

喷胶机

适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

产品参数

控温范围：50-150℃
温度均匀性:±1%
3光刻胶流量:0.4-20ml/min
加热平台转速:1-30rpm
喷嘴水平移动速度:≤200mm/s
喷嘴水平行程:≤300mm
光刻胶雾化直径:30-50μm
设备尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

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