真空镀膜机维护 时间:2019-09-25 阅读:2527 真空镀膜机维护:1、保护设备正常工作的必要条件:2、工件环境温度不得高于40℃。3、工件环境相对湿度不得大于90%。4、冷却水进水温度不得高于25℃,水压不得低于0.2Mpa,供气压力0.6Mpa,工作压力0.4~0.5MPa。5、设备及工作环境必须清洁。6、使用电阻蒸发和烘烤时必须通冷却水。7、蒸发材料应预先除气。8、进行离子轰击时,蒸发室的真空度必须在10~1Pa范围内,否则蒸发室的气体电离所产生的电流,使工件烘烤电源有短路的危险,因此离子轰击与工件烘烤不能同时进行。9、当电源或机械泵发生故障时,应立即停机,关闭高真空阀。10、定期检查机、电各部份工作情况。 四川致研科技有限公司生产科研仪器设备定制,熔融纺丝机,材料纺丝成型设备,实验反应设备,实验加热炉,化工试验装置,材料检测类设备。 ———————————————————————————————————————————————四川致研科技有限公司 全心致力于科研事业