超临界萃取装置主要由下列部分组成：纯度为≥99%的CO₂气瓶、制冷装置、温度控显系统、压力控显系统、安全保护装置、携带剂罐、净化器、混合器、热交换器、贮罐、柱塞泵、萃取缸、分离器、精馏柱、电控柜、阀门、管件及柜架等组成。

工艺流程
将需要萃取的植物粉碎，称取约300—700g装入萃取器（6）中，用CO₂反复冲洗设备以排除空气。操作时先打开阀（12）及气瓶阀门进气，再启动高压阀（4）升压，当压力升到预定压力时再调节减压阀（9），调整好分离器（7）内的分离压力，然后打开放空阀（10）接转子流量计测流量通过调节各个阀门，使萃取压力、分离压力及萃取过程中通过CO₂流量均稳定在所需操作条件，半闭阀门（10），打开阀门（11）进行全循环流程操作，萃取过程中从放油阀（8）把萃取液提出。

总之，SFE技术基本工艺流程为：
原料经除杂、粉碎或轧片等一系列预处理后装入萃取器中。系统冲入超临界流体并加压。物料在SCF作用下，可溶成分进入SCF相。流出萃取器的SCF相经减压、凋温或吸附作用，可选择性地从SCF相分离出萃取物的各组分，SCF再经调温和压缩回到萃取器循环使用。SC—CO₂萃取工艺流程由萃取和分离两大部分组成。在特定的温度和压力下，使原料同SC—CO₂ 流体充分接触，达到平衡后，再通过温度和压力的变化，使萃取物同溶剂SC—CO₂分离，SC-CO₂循环使用。整个工艺过程可以是连续的、半连续的或间歇的。

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