导体电阻率测试仪的主要指标如下：

　　1.测量范围：电阻率10-3—103Ω-cm，分辩率为 10-4Ω-cm ，可扩展到105Ω-cm

　　方块电阻10-2—104Ω/□，分辩率为10-3Ω/□，可扩展到106Ω/□

　　薄层金属电阻10-4—105Ω，分辩率为10-4Ω

　　2.可测半导体材料尺寸：直径Φ15—Φ125mm; 长度：150mm(可扩展500mm)

　　3.测量方式：轴向、断面均可

　　4.数字电压表：(1)量程：20mV(分辩率：10μV)、200mV、2V

　　(2)测量误差：±0.3%读数±1字

　　(3)输入阻抗：大于108Ω

　　(4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示

　　0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示

　　5. 恒流源：由交流供电，具有良好的防泄漏隔离功能

　　(1)直流电流：0—100mA连续可调

　　(2)量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

　　(3)分辩率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

　　(4)电流误差：±0.3%读数±2字

　　6.电性能模拟考核误差：<±0.3%符合ASTM指标

　　7 .测试探头：(1)探针机械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指标