四探针电阻率测试仪示值基本误差的检定有两种检定方法，用标准样片的整体检定方法和用模拟电路的分部件检定法。可用其中任何一种方法进行检定。用硅单晶电阻率标准样片对电阻率测试仪进行整体检定注：一般分为方块电阻检定和电阻率检定，对于只能测量方块电阻的测试仪就对该仪器进行方块电阻检定。对于既能测试方块电阻又能测电阻率的电阻率测试仪，可对电阻率进行检定。如果用户提出只对方块电阻进行检定也可以只检方块电阻。

检定的四探针电阻率测试仪应作绝缘电阻的测量。在仪器的探针之间或探针与仪器外壳之间可用遥表或其它方法测量其绝缘电阻，测量时工作电压为（100～500）V, 绝缘电阻值不得低于500MΩ。检定的电阻率测试仪，可进行绝缘强度即耐压试验，要求电流输入端与机壳间应能承受1500V(有效值)交流电压，历时1min，无击穿与飞弧现象。对此项试验由送检单位提出申请后方可进行，如未做耐压试验则应在检定证书上注明。 

将被检仪器的电流值调到标准样片允许通过作用的电流值以内，对12个标准样片进行测量，每个样片在反电流的情况下各测10次，每正反向测量一次将样片转动20°～30°，共计没得20个数据。通常以电压表读数在10mV左右。用标准样片检定四探针电阻率测试仪，由检定结果中找出zui大的相对误差，如果zui大相对误差超过仪器标定的准确度，则说明仪器超差。分部件检定的电阻率测试仪。对于检定后的各项指标都合格的电阻率测试仪，出具检定合格证书。在证书中注明标准样片的实际值和测量值，给出测量的误差值，给出探针头的修正系数。

如果要求给出全部探针指标，也可近十万大山要给出全部探头指标，若探头为不合格，则必须指出哪项指标或n项指标不合格。对自动或半自动电阻率测试仪，只要有一项功能不合格要求时，就按不合格仪器处理。对于检定后的有一项以上指标不合格的电阻率测试仪，出具检定结果通知书并在通知书中注明不合格项目。此外在检定证书或通知书中一股不用给检定总不确定度，若用户需要可满足用户要求。但必须注明，检定时的温度、、相对温度及实验室条件等项目。对检定后不合格的电阻率测试仪经修理后仍需要重新按检定要求检定。检定周期电阻率测试仪的检定周期一般不超过1年，送检时需要携带上一次检定证书。