本测试装置为综合性测试系统，设计为测试台结构，主要由先进的多功能样品夹具，高精度数字电压表、宽量程高稳定直流恒定电流源，微处理机系统等部分组成，多功能样品夹具由特殊导电合金精密加工而成，接触良好，导电性能好，具有定位精度高等特点，高精度数字电压表灵敏度高、用LED 4 1/2位数字显示。

四探针电阻率测试仪的其它功能，按仪器说明书的指标要求进行检查，判断是否合格。按仪器说明书的要求，在电阻率测试仪测量范围内，选择相对就的标准样片作为被测对象对标准样片中心点（0.25mm以内）的电阻率进行正反向各10次测量，并按（11）式计算电阻率的相对误差。对探针压痕直径及其间距的检定，其要求和方法与探针检定相同。

用标准样片检定电阻率测试仪，由检定结果中找出zui大的相对误差，如果zui大相对误差超过仪器标定的准确度，则说明仪器超差。对于检定后的各项指标都合格的电阻率测试仪，出具检定合格证书。在证书中注明标准样片的实际值和测量值，给出测量的误差值，给出探针头的修正系数。如果用户要求给出全部探针指标，也可近十万大山 要给出全部探头指标，若探头为不合格，则必须指出哪项指标或n项指标不合格。对自动或半自动电阻率测试仪，只要有一项功能不合格要求时，就按不合格仪器处理。对于检定后的有一项以上指标不合格的电阻率测试仪，出具检定结果通知书并在通知书中注明不合格项目。此外在检定证书或通知书中一股不用给检定总不确定度，若用户需要可满足用户要求。但必须注明，检定时的温度、、相对温度及实验室条件等项目。对检定后不合格的电阻率测试仪经修理后仍需要重新按检定要求检定。