四探针电阻率测试仪是一种采用四探针、三探针和扩展电阻的电阻率测试仪，四探针电阻率测试仪一般目前的四探针电阻率（电导率）测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，zui常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。四探针电阻率测试仪可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻（简称方阻），换上四端子测试夹具，四探针电阻率测试仪还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

    四探针电阻率测试仪仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程；测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。四探针电阻率测试仪在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，四探针电阻率测试仪测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。