EZ4高精密匀胶机
时间:2018-04-19 阅读:2163
产品介绍:
名 称:高精密匀胶机
型 号:EZ4
原产地:美国,USA
应 用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品概述:
EZ4高精密匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。
EZ4高精密匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。
EZ4高精密匀胶机性能参数:
l 支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圆晶)
l 速度可调范围:100-10000rpm
l 加速度可调范围:100-10000rpm/s
l 转速分辨率:1rpm
l 转速精度:<±5rpm
l 可编程5组5步程序
l 宽电压输入:AC100-230V
产品特点:
l 75W 直流无刷电机,单片机控制
l 高清晰文本显示器
l 可单步和多步匀胶操作
l PP耐腐蚀内腔,可更换
l 铝合金阳极氧化外壳,美观大方
l 耐溶剂PC透明盖
l 多角度定位铰链设计
l HDPE真空吸盘
产品外型尺寸:
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)