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气体检测变送器的技术工艺

时间:2014-12-24      阅读:1645

  

气体检测变送器作为一种探测和监测有毒气体的仪器,为在有害气体现场工作的工作人员提供安保障。气体检测变送器在微电子和微机械迅速发展的基础上,基于MEMS的新型微结构气敏传感器,主要有硅基微结构气敏传感器和硅微结构气敏传感器。硅基微结构气敏传感器是衬底为硅,敏感层为非硅材料的微结构气敏传感器。主要有金属氧化物半导体、固体电解质型、电容型、谐振器型。硅微结构:主要是金属氧化物-半导体-场效应管(MOSFET)型和钯金属-绝缘体-半导体(MIS)二极管型。

气体检测变送器MEMS技术将传感器与IC电路集成一起,而且精度高、体积小、质量轻功耗低、选择性高、稳定型高,同种器件之间的互换型高,可以批量生产。所以是传感器工艺的发展方向,而且基本所有的传感器都可以用MEMS技术生产。随着MEMS技术和纳米技术的发展,将会给气敏传感器的发展提供更广阔的的前景。同时实现传感器陈列,也就是电子鼻集成成为可能,并将有很大的发展空间,给传感器带来新的发展篇章。

 

为了实现NDIR气体传感器的测量、控制以及自动标定等功能,需要一个合适的微控制器来管理传感器。传感器测控系统通过采集红外输出信号及测量标准气体曲线,采用非线性校正算法可以直接得到测量气体的浓度。通过采用以上技术,NDIR红外气体传感器的结构比以往仪器将大大简化,仪器功耗也大幅度降低(只有以往的1/4),传感器的成本也不到以往技术的1/4。此类传感器可以实现模块化和标准化,因此更加适合在我国广泛使用。

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