Bruker布鲁克 JV-QCVelox 产 品 概 述

Bruker’的 JV-QCVelox 是长期运行的 JV-QC 仪器中HRXRD。
它是化合物半导体行业高分辨率 X 射线衍射的专用质量控制工具。 它适用于表征所有常见的半导体衬底，包括Si、GaAs、InP、GaN 等。
测量可以部分或自动化运行，用户可自定义的脚本处理日常工作。

VeloMAX™ 光学器件：通过 10 倍以上的强度改进实现高生产率

JV-QC-Velox 系统的入射光束包括许多标准功能以获得高强度。 晶体选择根据材料进行了优化：

·在不损失分辨率的情况下，提高了通量并提高了可重复性。
·在不降低分辨率的情况下，可以实现比以前更快的测量和更高的精度。 这是在 MQW 分析中保持准确的成分值的关键。
·多层反射镜作为所有 JV-QC-Velox 系统的标准配置
·对于高镶嵌样品，使用 25 英寸的调节晶体发散角来增强系统（标配）
·对于传统的 III-V 系统，可以提供更高分辨率的调节晶体 (<10”) 来代替 25” 晶体（需要在采购订单上注明）
·系统的校准可以轻松安全地进行，机柜中没有开梁。

·检测器级包括许多标准功能，可以增强系统的能力
·EDRc（增强动态范围）检测器的动态范围 > 2x107
·自动衰减器，通过控制软件进行控制。这将系统动态范围增加到超过3x108

·三轴晶体是获得所需晶体的关键GaN测量的分辨率。
·电动探测器狭缝允许对系统进行控制分辨率，无需手动更换模块
·所有探测器级组件都是自动对齐的通过电脑