普旭真空泵系统设计与制作

真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的

成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口

等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系

统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、

工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在

真空容器内获得所需要的真空条件。举例说明：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵

连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上面有真侬测量装置，这就构成了一个真空抽气系统。