ULVAC/日本爱发科 品牌
经销商厂商性质
东莞市所在地
爱发科真空泵NRL180A特点：
低噪音、低振动、*的耐腐蚀性。
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对府蚀性气体排气时泵
体内部的腐蚀程度。
随泵配送选购件：
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
适用于行业：
活性气体（CVD/刻蚀等）
排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）
用于产生粉尘工艺中的排气（Si单品炉等）
作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）
冷冻干燥等水蒸气排气。
爱发科NRL180A干式螺杆真空泵一般用于排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处
理、液晶注入等），排出非活性气体行业对泵的腐蚀性很大，大多数真空泵都是因为腐
蚀后转数慢，影响到生产效率，需要专业的厂家维修，东莞比其尔真空承接爱发科
NRL180A干式螺杆真空泵维修。
针对真空泵腐蚀的修复方法：
*清除表面氧化层，用丙酮将表面清洗干净。喷砂、打磨、涂防腐蚀涂层保护，专业
的安装方式完工。
爱发科NRL系列在低温领域下的均热化，除PVD工艺外，龙其适用于希望提高流量，缩
短非气时间的重要工艺腔体的排气。
选择比其尔的优势---进口真空泵专业维修厂家：拥有10年以上各类进口真空泵维修经验
及专业治具。*真空泵维修配件，提供6个月延长质保服务，终身技术支持。
