X射线荧光光谱仪是基于X射线的一种分析技术，当一束高能粒子与原子相互作用时，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能，将该轨道电子逐出，形成一个空穴使原子处于激发态，由于激发态不稳定，外层电子向空穴跃迁使原子恢复到平衡态，跃迁时释放出的能量以辐射的形式放出便产生X荧光。

　　X荧光具有特征的波长，对应的即是特征的能量，通过对光子的特征波长进行辨识，XRF能实现对元素的定性分析，通过探测特征波长的X射线光子的强度，实现元素的定量和半定量分析。

　　下面我们来看看X射线荧光光谱仪该如何维护保养：

　　1、探测器性能一般用波高分布曲线的半宽高来衡量，若半宽高增大则说明分辨能力下降，检测器品质变坏。

　　2、真空系统是X射线荧光光谱仪的重要组成部分。对于真空泵，主要是应该定期检查真空泵油的油质和油量，检查油质时如果有白色或黑色，就说明油质不正常，应该立即更换泵油。

　　3、X射线荧光光谱仪中昂贵的部分是高压 X射线光管，它是仪器的核心部件。X射线光管对冷却水的温度、压力、电导率都有严格的要求，其佳冷却水温为 22℃～24℃，一般不能超过 30℃，超过 35℃则使用寿命会大大降低。内部循环水用于冷却阳极靶附近的光管头部分，因此要求内部循环水为电导率很低的去离子水（必须保证该冷却水的电导率＜2 μs／cm），以防高压击穿导致 x射线光管损坏。

　　4、分光晶体是具有把 X 射线荧光按波长顺序分开成光谱作用的晶体。影响分光晶体稳定性的因素有：温度、湿度、酸碱度等。