测量项目

测量项目

点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、

交点到圆心的距离等）、zui高点、zui低点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、

直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数

测量范围

X轴（横导轨）

150mm

Z1轴（传感器）

20mm

Z轴（立柱）

500mm

测量精度

X轴(L=X轴导轨移动距离)

±(1.5+2L/100) μm

Z1轴(H=Z1轴方向测量高度)

±(1.8+3H/100) μm

X轴水平臂

直线度

0.2μm /100mm

光栅分辨率

0.1μm

光栅产地

进口

Z1轴传感器

分辨率

0.02μm

传感器类型

电感传感器

产地

进口

移动方向

前/后 双方向

测力

0.01-0.06N

测针针尖

硬质合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

速度

测量速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8个)

定位速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8个)

图形放大/缩小

图形放大

可任意缩小、放大

综合调整台

综合调整台

X轴水平倾斜调整范围：±30°，Y轴方向调整范围：±7.5mm，Z轴回转可调360度（带微调装置）

安装要求

电源

220-240V AC, 50HZ，单独地线；zui大功率消耗450W

压缩空气

纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m³ /min （气源供给0.6MP，0.25m³ /min以上）

环境要求

工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无明显振源