原子光谱分析在我国的真正发展开始于20世纪50年代，摄谱仪的大量引入，促进了原子发射光谱分析在各领域中的推广应用，由黄本立领导的长春应用化学研究所编制、科学出版社出版的《混合稀上元素光谱图》，是我国光谱分析工作者早期重要的专业工具书。

原子光谱分析发展早的是原子发射光谱分析。在我国早广泛应用原子发射光谱分析的是地质部门，20世纪50年代初地矿部就开始着手筹建光谱实验室，培训分析人员，大力推广原子发射光谱分析技术，50年代后期研制出具有自动控制功能的粉末撒样装置，60年代末期又独立地发展为吹样光谱分析法。20世纪50年代中期，建立了一批光谱定量分析方法，到文化大革命前，地质部门已经能用电弧光谱粉末法分析几十种元素。

20世纪70年代，我国开始对ICP光源进行研究开发，李炳林、黄本立、朱锦芳等较早地进行了ICPAES的应用研究，直至80年代，国内对CP-AES的研究，多限于使用自己组装的仪器，且多为摄谱法，90年代国内ICP分析技术得到迅速发展。

20世纪90年代，金钦汉等提出了一种微波等离子体炬（microwave plasma torch，MPT）新型光源，可在常压下以He、Ar或N2工作，焰矩的环形结构类似ICP焰矩，形成中央通道，在开管振腔获得等离子体，提高了等离子体对样品的承受能力，输入功率大于2W即能工作，输入功率大于29W，工作十分稳定。

20世纪60年代~80年代原子吸收光谱分析在我国获得很大的发展。国产商品仪器趋于成熟，在各种领域中的应用达到普及的程度，在原子荧光光谱分析方面，开发了具有我国特色的光谱仪器，并得到推广应用。

21世纪初，王海舟等自主开发了单次火花放电光谱高速采集技术和光谱数字解析技术、无预燃连续激发同步扫描定位技术，开创了火花放电发射光谱金属原位分析新方法，采用统计解析的方法定量表征金属材料的偏析度，疏松度、夹杂物分布等指标2002年北京纳克分析仪器有限公司研制成功世界台金属原位分析仪，使AES仪器由单一的成分分析仪器发展成为能同时得到金属材料中较大尺度范围内成分、状态分布及结构的定量统计信息的多功能仪器。

进入21世纪以来，我国在各种原子光谱分析方法及仪器的研发与应用，如辉光放电光谱GDS、激光光谱LIBS、中阶梯光栅棱镜双色散-CTD光谱仪器分析技术及仪器研发和商品化进程方面得到全面发展。蒸气发生原子荧光光谱商品仪器的研发生产与应用技术一直居于优先地位。原子吸收光谱仪器以及火花源/电弧直读光谱仪器的制造水平及其商品化程度已达到同类型仪器的相同水平，个别类型仪器具有性，原子吸收和原子荧光光谱仪器在小型化方面处于优先地位。