埃登威QZ361高纯气体露点仪采用才氧化铝、氧化硅合成传感器，响应迅速，稳定可靠。专门用于超高纯气体中的ppb含量微量水含量测量。在许多高纯气体的微量水含量测量的应用中，如半导体行业，气体水分含量对于产品工艺及产品质量有着至关重要的影响。QZ361露点仪工业标准的材质和生产过程结合，使得在线式高纯气体露点仪QZ361适合批量应用于半导体制造或超高纯气体管路之中。

QZ361高纯气体露点仪是基于氧化铝氧化硅合成技术，α-阿尔法相、γ-氧化铝二氧化硅混合介质制造工艺采用了前沿的原子层沉积技术。

传感器的工作原理是基于多孔感湿 层对水分子的吸收。绝缘材料层厚度在10纳米到50 微米之间;该吸湿介质敏感材料二氧化硅薄膜厚度在 0.5 纳米到 500 纳米之间厚度。因此，当周围环境的湿度发生变化的时候，传感器对湿度变化会做出极其快速的反应。

QZ361高纯气体露点仪的优点

●  高灵敏度，快速响应

●  精确测量，高稳定性

●  操作简便，维护量低

● 可选择现场显示器

设计优势

● 全新的氧化铝氧化硅传感器

● 高达+/-2℃td 的宽量程精度测量

● 自动加热校准功能

● 超快响应速度及出色的长期稳定性

● 出色的抗干扰能力

● IP65防护等级，即使恶劣的环境下 也能提供良好的保护