体积电阻率表面电阻率测试仪的测量方法和精度：

　　1、方法：测量高电阻常用的方法是直接法和比较法。

 

　　直接法是测量加在试样上的直流电压和流过试样的电流而求得试样电阻。直接法主要有检流计法和直流放大法（高阻计法）比较法主要有检流计法和电桥法。

 

　　2、精度：对于大于10的10Ω的电阻，仪器误差应在±20%的范围内；对于不大于10的10Ω的电阻，仪器误差应在±10%的范围内。

 

　　3、保护：测量仪器用的绝缘材料一般只具有与被测材料差不多的性能。

 

　　本仪器是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I，通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算，然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值，即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化，其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流Ｉ的变化而变，所以，即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大，其测量精度很高，从理论上讲其误差可以做到零，而实际误差可以做到千分之几或万分之几。