满足越来越严苛的电子气体质量要求，从源头提升半导体生产工艺
时间：2022-01-25 阅读：980
从去年开始“缺芯”一直困扰着众多工业行业的发展，尤其是汽车行业受到的干扰更为突出。全球芯片代工厂都在满产运转，各大半导体供应商无不开足马力提升产量，扩展产能，提高未来市场话语权。而在半导体众多工艺过程中，集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的电子气体所扮演的角色也越发不能忽视。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。
随着电子消费品的升级换代，整个电子工业界对电子气体气源纯度，以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标，直接与分析仪器技术进步带来的低检测极限（LDL）相关联。
在实际生产过程中，半导体厂商发现随着工厂生产工艺的提升，由于对大宗气体检测手段的落后，已经无法提供更高杂质检出限（PPT级）的检测结果，导致产品良品率持续降低：虽然气体杂质检测结果正常，但是生产质量却频频出现问题。对于来自最终用户对于大宗气体质量的指责，气体供应商也认为有必要在大宗气体出厂之前就能够完成质量控制监测，尽早减少生产波动、设备故障带来产品质量问题，确保质量稳定，消除与用户的争议。
Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高纯电子气质谱分析仪
APIX dQ是赛默飞世尔科技与欧洲某气体公司联合开发的新一代超高纯电子气质谱分析仪。APIX dQ采用了阳离子大气压离子化质谱仪（ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯大宗气体中的众多污染物，如H20, He, CO, CO2, O2, CH4, Kr 和 Xe 等。
相比于其他传统的、由多个独立的分析仪组成的分析仪系统，APIX dQ超高纯电子气质谱分析仪有着自身*的优势：
测量下限低，可达到10ppt级；
氧气 | 10ppt |
氢气 | 150ppt |
甲烷CH4 | 10ppt |
水份 | 30ppt |
一氧化碳 | 50ppt |
二氧化碳 | 10ppt |
氮气 | X |
氩气 | X |
氪气 | 10ppt |
*注：X表示不分析
2、单台表能够同时分析多种杂质（见表1：APIX能够监测N2中的杂质和测量下限）；
3、响应时间快，每个组分小于1秒钟；-分析N2中众多杂质不会超过10秒钟；
4、运行成本低，维护量小（没有载气、助燃气等要求）；
5、配置简单，不需要预处理系统，样气直接进行分析；
6、真正的在线分析仪，直接在线标定；
7、超过100台套以上使用业绩，为众多电子厂商和大宗气体供应商在各地使用。
Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高纯电子气质谱分析仪作为核心检测手段，能够为不断高歌猛进的半导体工业，尤其是芯片制造领域提供可靠、准确，值得信赖的大宗电子气纯度和洁净度的在线连续检测。赛默飞四气体在线杂质检查方案，提升了芯片的质量和良品率，为芯片国产化和半导体工业的发展提供了基础保障，将不断助力于国内数字化、智能化、5G和工业物联网进程。