在线过程质谱仪一般由检测系统、真空系统、电学系统和数据处理系统四部分组成。其中，检测系统由进样系统、离子源、质量分析器和离子检测器组成。样品由进样系统导入离子源，在离子源中被电离成离子，离子束按照质荷比大小由质量分析器分开，被离子检测器接收并记录而获得质谱图。真空系统提供和维持质谱仪正常工作所需的真空度；电学系统为质谱仪的每一个部件提供电源和控制电路；数据处理系统快速、高效地计算和处理质谱仪获得的大量数据，并承担仪器控制的任务。

　　在线过程质谱仪性能指标：

　　·质量范围：质谱仪能检测的高低质量；

　　·质量轴稳定性：在一定条件下，一定时间内质量标尺发生漂移的幅度，一般多以8hr或12hr内某一质量测定值的变化来表示；

　　·分辨率：质谱分辨相邻两个离子质量的能力；

　　·灵敏度：在一定条件下，对选定化合物产生的某一质谱峰，仪器对单位样品所产生的响应值。在线质谱仪常用测得的离子流强度与离子源内气压之比值来表示；

　　·检出限：质谱仪可检出的样品含量或浓度。

　　在线过程质谱仪在高炉检测领域中的应用：

　　（1）氢气分析。使用质谱仪可以对氢气含量的突然增高快速报警，氢气的突然升高预示着冷却水向高炉的泄漏。冷却水泄漏的早期监测可避免高炉冷却，从而避免了焦碳消耗的增加。另外，质谱仪连续、准确地控制氢气可以避免氢气含量达到危险水平，从而防止易爆混合物的产生。

　　（2）氮气分析。在用氮气作为吹扫气体的情况下，炉顶气体中氮/氩比是检测取样系统故障的理想标志，按照此比值来设定警报级别，能够提早检测故障并减少高成本。另外，铁的产量主要决定于高炉热量控制的水准，许多工厂利用气体分析数据来计算高炉底部额外热量，从而控制高炉温度来确保连续稳定的铁产量。氮气对于准确计算物质平衡测量是至关重要。