平行光检查灯光源的选择：

白光：刮伤以及对不同层次的镀膜均匀或微污染有很好的效果。

绿光：微刮伤、粉尘异物、Mura，检查灯，70%以上的表面不良都可以被检出。尤其是表面的微刮伤。

黄光：微刻模具、半导体晶圆、蓝宝石。模拟全波段的卤素光源，对镀膜检查效果不错。