宝德BURKERT式流量传感器特性概览

工作电源
输出信号 标准脉冲信号，晶体管NPN或PNP，集电极开路，
zui大100mA
本体材质 PA（8023的本体）
8030与8021
允许的传感器 霍尔式 / 霍尔“低功率”式
流量显示包括2个累加器
体式、面板式或墙装式
批量控制器具有3种批量模式（现场按键输入、
二进制输入和时间比例触发批量控制）
zui大误差以测量范围的%表示：
标准K系数校正：≤±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.)
校正（Teach-in）：≤±0.5% o.F.S.
霍尔式（参见技术参数表） 1
2 to 30 V DC DIN 43650 M16×1.5
8021型标准脉冲输出模块，接插式 12 to 30 V DC 1 x M16×1.5
测量范围 From 1 l/min
流速 0.3 to 10 m/s
测量误差[%] ≤ ±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.) 这两个电阻都直接位于气体通道内；另外三个电阻位于气体通道之外。
这五个电阻连接成个测量电桥。
气体通道中的个电阻 (RT) 测量介质温度，另个低阻值电阻 (RS) 不断被加热，使其与介质温度（由 RT 测得）之间始终保持个恒定的温差。
所需的加热电流即用于测量流过该气体通道的气体流量。
MFC 中合适的流量调节确保其所测得的流量非常。
由于加热电阻和测量电阻都直接位于气体通道内，所以当设定值或实际值变化时，该传感器的响应时间极短，只有几百毫秒。
此外，该传感器的结构确保其不易受污染物的影响。
与在主管道中进行测量的式传感器不同，CMOS 传感器是在旁路管道中进行测量的。
主管道中的层流元件产生个必需的压差，使小部分流量进入旁路管道。
旁路管道内壁上装有带膜的硅芯片，用于测量流量。
采用 CMOS 传感器技术，在这块膜上有个加热电阻和两个对称的温度传感器（分别位于上游和下游）。
如使加热电阻保持在个恒定温度，则两个温度传感器的电压差即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的流量。
该温度传感器的热量低、与介质直接接触，因此具有许多特定的，其中之就是对于流量变化的响应极快。
带 CMOS 传感器的 MFC 具有100 ms 的响应时间，且灵敏度高，即使流量很小时也是如此。
该式传感器为 CTA（恒温风速计） 工作原理：控制加热电阻 (RS) 和测量电阻 (RT) 之间保持个恒定的温差。

宝德BURKERT式流量传感器特性概览