洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环，经耐高温高效空气过滤器（100级）反复过滤，使烘箱工作室内处于无尘状态。洁净烘箱工作室采用SUS304不锈钢结构，全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘。工作室内温度由智能数显温度控制仪进行PID恒温自动调节，并有时间控制装置，并设有超温自动切断电源及报警电路，控制可靠，使用安全。

产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

产品特点

百级无尘充氮烘箱

1、密封性设计：内材质用SUS304不锈钢板，内胆用氩弧焊满焊，防止空气进入烘箱内及机台本身所产生的微尘，同时节省惰性气体；

2、外部防尘处理：外材质为SPCC钢板经过粉体喷塑，耐磨不掉尘渣；

3、节       能： 保温材质为高密度陶瓷纤维，保温节能；

4、分层结构设计：内箱层板高低可调，可自由取出；

5、内部无尘配件：内部结构配件均采用无氧化无尘材质；

6、外箱密封性：外箱结构均采用特殊密封结构设计，确保其与洁净室的和谐；

7、移动自由：箱体有活动脚轮，可任意推动和固定位置；

8、高效过滤器：HEPA过滤网构造洁净室与洁净等级100以下；

9、内循环风设计：强制送风内循环，确保温度均匀；

10、氮气预热结构设计；

11、可选配PLC+HMI人机触摸屏控制系统，带数据输出接口。（选配）

12、泉州锋云氮气烘箱（无氧化烘箱）可选配氧含量分析仪，实时观测箱内氧气含量；

13、可配置充氮气系统（氮气进气口，自动预热控制）。

百级无尘充氮烘箱

型号参数