SC100-PE高精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,而且在以往SC100系列匀胶机的基础上增加了：1数字显示的真空压力表，匀胶操作过程中实时观测真空吸附的压力变化有效的防止飞片等意外发生。2增加了实时数字水平度显示，保证设备水平度匀胶效果更好。它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中zui大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。

SC100-PE高精密匀胶机主要性能指标：

主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

旋涂程序：zui多可存100组程序，每组100步，每个步骤可到0.1秒

转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圆晶）

旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

SC100-PE高精密匀胶机 产品特性优点：

的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

on ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。

排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。