扫描电镜全称扫描电子显微镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜可以分析纤维、纸张、钢铁质量，观察矿石结构、检测催化剂微观结构、观看癌细胞与正常细胞差异等。

 

扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小(直径一般为1~5nm)的电子束(相应束流为10-11~10-12A)。在末级透镜上方扫描线圈的作用下，使电子束在试样表面做光栅扫描(行扫+帧扫)。

 

入射电子与试样相互作用会产生二次电子、背散射电子、X射线等各种信息。这些信息的二维强度分布随着试样表面的特征而变(这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等等)，将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号，再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度，就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图像。如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号，就可以由计算机做进一步的处理和存储。

 

扫描电镜样品种类繁多，特性各异。为了满足电镜的常规观察，样品制备应该符合以下原则：

 

1.显露出所欲分析的位置。

 

2.表面导电性良好，需能排除电荷。

 

3.不得有松动的粉末或碎屑（以避免抽真空时粉末飞扬污染镜柱体）。

 

4.需耐热，不得有熔融蒸发的现象。

 

5.不能含液状或胶状物质，以免挥发。

 

6.非导体表面需镀金（影像观察）或镀碳（成份分析）。