X射线是类似可见光的一种电磁波（图1），被广泛应用于各种领域，比如X探伤，晶体学，元素成分分析等等。

图1 光谱图

X射线最早是由德国物理学家伦琴发现的，最早是用于医学影像检测。后来，经过对X射线不断研究，英国物理学家巴克拉发现当X射线照射某元素时，会发出一条与之对应的特征谱线，并以此建立了X射线光谱学。这一发现促进了X射线荧光光谱仪的诞生。

经过多年的发展，X射线荧光光谱仪作为一种快速、无损的成份检测仪器，被广泛应用生产检测当中。

X射线荧光光谱仪基本原理：X射线管产生的X射线(初级X射线)照到物质(样品)上时，与元素的核外电子发生相互作用，将内层电子激发，形成轨道空穴，遵循能量最低原理，外层电子补充进来，这个过程会有能量差，这部分能量以特征X射线形式释放，而每个元素的特征X射线的能量和波长是不同的，便可根据特征X射线进行元素判别，根据荧光强度可判别其在物质中含量。

X射线荧光光谱仪分析元素范围从4号元素Be开始一直到92号U元素，主要是针对固体、液体分析，很难分析气体，所以惰性气体不属于X射线荧光光谱仪分析范畴。元素周期表中，有一些重元素不稳定，容易发生衰变，形成新的粒子，这些元素也不在X射线荧光光谱仪的分析范畴。