科学、工业和商业领域的用户通常采用光谱法分析材料中的不同成分。在许多情况下，主要和次要元素浓度的精确测定是至关重要的。

在传统观念当中，常常采用波长色散型X射线荧光光谱仪做这些应用，因为其可以提供所需的精密度。而能量色散型X射线荧光光谱仪常常被认为只能做定性半定量的分析，应用到快筛分析，比如RoHS检测、固废回收等领域。

但事实上，能量色散型X射线荧光光谱仪经过这么多年的发展，其精密度已经能与WD-XRF相媲美。特别是SPECTRO分析仪器公司的SPECTRO XEPOS光谱仪。

SPECTRO XEPOS配备强制风冷式的50W端窗X射线管，针对最大能量产生进行了优化。该X射线管配备了厚度、钴钯二元合金靶材为主要感兴趣元素提供了良好的激发条件。再者，搭配直接激发、偏振激发和通带滤光片光路系统，针对特定元素进一步激发，提高了灵敏度。

图1. SPECTRO 激发光路系统

我们使用SPECTRO XEPOS对地质矿物样品（采用熔片法制样）进行7天35次分析，结果如下表显示。

重复性试验结果显示，就算是Na、Mg、Al、Si等这些“轻”元素，在能量色散型X荧光光谱仪中常常被认为测不好的元素，其精密度都是非常高的。

表1.  7天重复性试验的分析结果

通过测试，SPECTRO XEPOS具备高精密度与准确性，其性能与WD-XRF相当，也能满足实际的高精度分析的测试需求。