场发射扫描电镜是一种高分辨率的电子显微镜，它采用尖端肖特基热场发射技术，具有许多优势和广泛的应用领域，它的工作原理主要包括以下几个步骤：

 

　　1.电子源：使用场发射电子枪作为电子源，通过强电场使金属的电子脱离束缚，形成高亮度、高相干性的电子束。
 

　　2.电子光学系统：电子束经过一系列的电磁透镜和光阑进行聚焦、偏转和整形，最终形成一个细小的探针。
 

　　3.扫描系统：扫描线控制电子東在样品表面进行逐行扫描，与样品相互作用产生二次电子、背散射电子等信号。
 

　　4.信号检测与成像：配备多种探测器收集不同种类的信号，并经过放大、处理后生成反映样品表面形貌、结构和成分信息的图像。
 

　　5.真空系统：维持局真空环境以确保电子東能够在样品表面产生足够的信号，并防止电子枪和样品受到污染。
 

　　为了保证场发射扫描电镜的正常运行和延长其使用寿命，需要进行严格的日常维护和管理：
 

　　1.环境条件控制：保持电镜室内的温度、湿度、排气、震动、噪声、磁场和接地等条件稳定，避免对电子束产生干扰。
 

　　2.光学系统维护：定期检查和维护电子光学系统的灯丝和光阑，确保其处于良好状态。
 

　　3.真空系统维护：保持镜筒和样品室的高真空度，定期检查真空泵的工作状态并进行维护保养。
 

　　4.样品处理：确保待观察样品干燥、无污染物，并选择合适的制样方法进行处理。