CKD喜开理PARECT电空减压阀的
时间:2023-01-31 阅读:268
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。
行业
半导体制造工序(后工序)
产品特点:
【提高性能,追加产品种类】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加压力种类 -100kPa(负压)、200kPa(中压)、900kPa(高压)
【小型】
30×39×57.1(宽×高×长)。
小型、轻量,有助于装置的小型化。
【高精度】
通过电气信号,高精度、高速响应地控制流体压力。
重复性:0.3%F.S.
分辨率:0.1%F.S.
响应时间:0.1sec(无负荷)
【动作状态采用双色进行显示】
采用双色显示动作指示器,设定压力时,显示为绿色,设定以外与错误时,显示为红色。
【配管、配线作业简单】
空气配管:采用快插接头,电气配线:采用M12接头,配管、配线作业简单。
型号 | 名称 | 压力控制范围(MPa) | 配管口径(Φ) | 备注 |
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EVS2-100 | PARECT 电空减压阀 | 0.001~0.1 | 4, 6 | |
EVS2-500 | PARECT 电空减压阀 | 0.005~0.5MPa | 4, 6 | |
EVS2-10V | PARECT电空减压阀 | -0.0053~-0.0912 | 4,6 | |
EVS2-200 | PARECT电空减压阀 | 0.002~0.2 | 4,6 | |
EVS2-900 | PARECT 电空减压阀 | 0.009~0.9 | 4,6 |