痕量气体在线分析仪用一束红外光透过检测室射入检测器，测量过程中通过切换电磁阀将采用气体和参比气体切换通入检测室。测量样气和参比气体使用相同的气体（例如零点气体）时，无法产生调制信号，因此不会产生漂移，解决了 痕量气体分析中的零点漂移宜问题。而且使用双光路检测气室，以相反的相位导入测量样气和参比气体，可实现了长期安定稳定运行，无需光学调整。

一般情况下，作为工业用气体使用的氧气，氮气是通过空气分离来制造的。首先将除去水分和CO2的原料空气通入分离装置，分离装置时利用氮气、氩气和氧气三者气体的沸点不同进行分离出不同气体。氢气和氦气也是利用类似的气体分离装置制备。GA-370测量实例。高纯度氮气、氩气、氧气制造行业痕量气体的测定。除去水分、CO2后原料气体中痕量气体的测量。