文章整理的电子工业用气体国标列表：

GBT 14604-2009 电子工业用气体 氧

GBT 16944-2009 电子工业用气体 氮

GBT 14601-2009 电子工业用气体 氨

GBT 16942-2009 电子工业用气体 氢

GBT 16945-2009 电子工业用气体 氩

GBT 16943-2009 电子工业用气体 氦

GBT 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢

SJT 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳

GBT 14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮

GBT 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷

GBT 31987-2015 电子工业用气体 锗烷

GBT 33774-2017 电子工业用气体 丙烯

GBT 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

GBT 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫

GBT 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷

除以上资源外，“资源包”还含有以下国标：

GB∕T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨

GBT 14603-2009 电子工业用气体 san氟化硼

GBT 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢

GBT 15909-2017 电子工业用气体 硅烷

GBT 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯

GBT 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼

GBT 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮

GBT 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢

GBT 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢

GBT 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅

GBT 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

※以上资料均来源于网络，经HORIBA整理。

HORIBA用于电子工业用气体纯度/不纯物

在线监测的仪器