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FMS115Z系列高精度直线电机位移台产品介绍
l ⾏程覆盖50mm、100mm、150mm与200mm
l 坚固的台⾝设计
l 高分辨率的光栅尺编码器
l 静音位移台
l 免费标准版SDK
l 高性能控制器
l 可选配EtherCAT总线控制
产品简介
在光机领域，科研和⼯业客⼾追求⾼速、⾼精度、⾼稳定性、⾼性价⽐。我们根据多年电动位移台设计经验，开发了全新的产品-FMS115Z直线电机位移台。以优异的性能，具有竞争⼒的价格，⽤以取代传统伺服电机+丝杠结构位移台。
FMS115Z配有100nm精度光栅尺以保证位移台重复定位精度。
产品应用
l 生命科学
l 精密测量
l 半导体
l 航空领域
l 激光
l 自动控制⼯业
性能实测
接线定义
电机接⼝
反馈接⼝
产品图纸
FMS115Z-50
FMS115Z-100
FMS115Z-150
FMS115Z-200
产品参数
Model | FMS115Z-50 | FMS115Z-100 | FMS115Z-150 | FMS115Z-200 |
⾏程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 |
负载(Kg) | 20 | 10 | 20 | 10 |
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
最⼩步进量(μm) | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
定位精度/保证值(μm) | ±2 | ±2 | ±2 | ±2 |
定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
最⼤速度(mm/s) | 200 | 200 | 200 | 200 |
直线度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
偏摆(arcsec) | 10 | 15 | 15 | 20 |
俯仰(arcsec) | 10 | 15 | 15 | 20 |
持续推⼒(N) | 35.2 | 17.6 | 35.2 | 17.6 |
峰值推⼒(N) | 176 | 88 | 176 | 88 |
重量(kg) | 3 | 2.9 | 4.4 | 4 |
