电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一
时间:2021-06-27 阅读:679
电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容---电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法,在半导体工艺中最为常用。其主要优点在于设备简单,操作方便,精确度高,对样品的几何尺寸无严格要求。
四探针法除了用来测量半导体材料的电阻率以外,在半导体器件生产中广泛使用四探针法来测量扩散层薄层电阻,以判断扩散层质量是否符合设计要求。
四探针法除了用来测量半导体材料的电阻率以外,在半导体器件生产中广泛使用四探针法来测量扩散层薄层电阻,以判断扩散层质量是否符合设计要求。
RM-220在线电阻率仪,电阻率和温度同时显示,并具有电阻率低限报警功能的在线面板式仪表,广泛应用于制药、电子、化工等行业对工业流程水质的在线监测。它采用了单片机技术,对纯水的温度系数、电极常数及电阻率低限报警点通过面板上的按键自由设置,是各种中小型纯水设备的理想配套仪表。
特点:
1、以25℃为基准,温度自动补偿,数据准确。
2、4-20mA 隔离信号输出,数据可连接。
3、RVP+同轴双重屏蔽,抗干扰性强。。
4、31/2LCD显示,数据清晰,直观。
5、电极常数及电导率低线报警点通过面板上的按键自由设置