1、因为显微影像仪的测摄精度要求较卨，所以光学系统应具有较大的放大倍率。因此气膜孔在CCD成像的数目应=2，否则虽然増加气膜孔成像的数目，可以提高测量工作效率高，但系统测量精度难以满足用户使用要求；

    2、为保证工作过程中测童效果不受离焦的影响，即不发生检测形变，系统应该采用远心光路的方案；

    3、因为被测物面相对测童光轴的倾斜角度是变化的，因此CCD靶面在针对不同的物面倾斜角度进行采集图像时，必须调整至相对应的角度：

    4、由于气膜孔与轴线的zui大倾斜角度为75°,超过1倍的放大倍率会导致系统 像面倾斜过大，使系统分辨率下降，因此在气膜孔处于zui大倾角位罝时系统放大倍率不能过大。