海科仪微观驱替物理模拟系统主要技术参数

工作压力：50MPA

工作温度：150℃

微观刻蚀模型

海科仪微观驱替物理模拟系统主要由注入系统、模型系统、计量系统、数据及图像采集处理系统四个部分组成。详见系统流程图
（1）注入系统由注入泵、气体调压系统、中间容器、真空泵、环压泵等组成。可提供注入水/气体/化学剂等多重介质，用于注入模型本体。在设计流程时，要求整个流程，包括使用的管阀件死体积尽可能小。
（2）模型系统由高温高压可视模型、平射光源、恒温箱等组成。
（3）计量系统由测压传感器、温控仪、计量管和回压系统等组成。
（4）数据及图像采集处理系统包括高倍显微镜、彩色摄像头、图像采集卡、数码照相机、台式电脑、微观驱替数据及图像分析软件等。