压电比例阀利用压电元件与半导体传感器，通过 对电气比例信号的调节，可高精度、高响应、无 噪音的对气体的压力与流量进行无级控制。 压电比例阀利用压电元件与半导体传感器，通过 对电气比例信号的调节，可高精度、高响应、无 噪音的对气体的压力与流量进行

特征

FEATURES

1、高精度气体控制

2、低温漂特性

3、反应灵敏，响应时间在0.7s以内

4、不限定气体种类(采用流量转换系数，以N2校准为基准、可对应各种气体)

5、高精度特气测控技术

6、安装方向任意(可自由安装)

原理图如下：

选型目录：

元级控制。