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产品简介
白光干涉形貌仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。
详细介绍
白光干涉仪技术参数
项 目 简 述 | 参数说明 |
白光干涉形貌仪 | Z向高分辨率, 亚纳米级 兼具相移（PSI）以及垂直扫描（VSI）模式 Z向分辨率可独立放大 四色CCD 相机，用户可自选的LED光源 (白光，绿光，蓝光和红光) 高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机 快速处理器在业界位于水平 自动对焦
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