范围对土壤修复和治理的需求日益增长，因此推动了准确、快速、简易现场测试方法的需求。高精度能量色散X射线荧光（简称HDXRF）光谱通过采用多个单色光束对样品激发，实现高精度分析。 ASTM D8064-16标准测试法批准使用高精度X射线荧光(HDXRF) 光谱测定法来进行土壤和固体废物中重金属元素的量化分析， HDXRF适用于各种土壤基质对于铬、镍、砷、镉、汞和铅的测定。

中国环境监测总站对HDXRF方法进行了对比测验。 该次测试内容为便携式HDXRF对土壤和沉积物重金属的监测性能，包括检出限，精密度，标准物质和实际土壤样品测试的准确性。对土壤环境监测中的八种典型重金属元素（Cr、Ni、Cu、Zn、As、Cd、Hg、Pb）进行测试。测试结果表明: HDXRF 低检出限，高精密度，标准物质测试准确性高，实际样品测试结果同实验室方法相关性高。