三氟化氮检测仪的设计特点与功能
时间：2024-04-15 阅读：378
三氟化氮检测仪是一种用于监测三氟化氮（NF3）气体浓度的仪器，主要应用于半导体芯片、平板显示器、光纤和光伏电池等行业。在这些行业中，三氟化氮通常作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂使用。检测仪能够实时监测空气中的三氟化氮浓度及泄漏状况，确保工作环境的安全。
三氟化氮检测仪设计特点：
1.工业级标准：检测仪是按照工业级设计标准研发生产的，这意味着它具备高可靠性和稳定性，适合在各种工业环境中使用。
2.防爆设计：该检测仪具有防爆特性，获得了国家防爆电气产品质量监督检测中心颁发的防爆合格证，确保在潜在爆炸性环境中的安全使用。
3.智能模块化传感器：采用智能模块化传感器设计，即插即用，自动识别。这种设计允许通过更换不同的传感器来检测多种气体，提高了仪器的灵活性和经济性。
4.内置进口传感器：配备高精度的进口传感器，确保了检测结果的准确性和可靠性。
三氟化氮检测仪功能：
1.在线监测：能够实时监测三氟化氮（NF3）气体的浓度，及时发现潜在的危险或泄漏情况。
2.报警功能：当检测到三氟化氮气体超过预设的安全阈值时，仪器会发出报警，提醒操作人员采取相应的安全措施。
3.多用途：适用于半导体芯片、平板显示器、光纤、光伏电池等行业，在这些行业中，三氟化氮通常作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂使用。
