六氟化硫（SF6）是用于电气设备作为绝缘和灭弧的惰性气体，主要包括SF6断路器及GIS、SF6负荷开关设备，SF6绝缘输电管线，SF6变压器及SF6绝缘变电站。其中绝大部分用于中高压设备。SF6气体作为一种不燃烧、抗老化的新型灭弧介质和绝缘介质已经逐步取代了绝缘油。

　　六氟化硫气体本身是一种稳定的惰性气体，但是SF6电气设备的稳定性和可靠性与SF6气体的纯度息息相关。这是因为SF6气体中混有杂质，达不到规定，其灭弧性和绝缘性的要求会大大下降。（按规定SF6的气体纯度不得低于97%）其中如果含有水分，其电气强度会下降。而在高温等条件下，SF6气体分解与水产生化学反应产生有害的物质，影响电气设备正常运行，一旦泄露还会对工作人员产生危害。也多次报道由于湿度超标而引起的设备事故，会引起大面积的停电等事故，对周围的生态环境和大气环境造成破坏。

　　纯净的 SF6气体无色、无味、不燃，在常温下化学性能特别稳定，是空气比重的 5 倍多。但在电力系统中，由于 SF6气体主要充当绝缘和灭弧介质，在电弧及局部放 电、高温等因素影响下，SF6气体会进行分解。它的分解物遇水份后生成腐蚀性电解 质，尤其是某些高毒性分解物，如 SF4、S2F2、SOF2、HF、SO2等，如大量吸入人体会引起头晕和肺水肿，甚至昏迷及死亡。

　　在相对密封的室内，由于空气流通不畅，SF6及其分解物在室内沉积，加上 SF6 气体无色、无味，从而对巡视、检修人员产生极大的危害。当 GIS 产生泄漏后，SF6气体积聚在地坪上方低层空间，造成局部缺氧，使人窒息而造成重大事故。所以需要安装监测六氟化硫和氧气检测仪，保证变电设备和工作人员的安全。