紫外吸收分析仪是根据不同组分气体对不同波长紫外线的选择性吸收特性而工作的分析仪器。测量这个吸收光谱可以区分气体的种类；被测气体的浓度可以通过测量吸收强度来确定。它不仅可以分析气体成分，还可以分析溶液成分。具有灵敏度高、响应快、在线连续指示，还可组成调节系统。工业上常用的紫外气体分析仪的检测部分是由两个结构相同的平行光学系统组成。
 
 

　　紫外吸收分析仪的两个平行光学系统一个是测量室，另一个是参考室。两个腔室通过光切割板在一定周期内同时或交替地打开和关闭光路。被测气体进入测量室后，被测气体*波长的光被吸收，从而减少了通过测量室光路进入紫外接收室的光通量。气体浓度越高，进入紫外线接收室的光通量越少；通过参比室的光通量是一定的，进入紫外接收室的光通量也是一定的。因此，被测气体的浓度越高，测量室与参比室之间的光通量差异就越大。光通量差以周期性振动的幅度投射到紫外线接收室。接收室被几微米厚的金属膜分成两部分。腔室用高浓度的被测组分气体密封。在吸收波长范围内，它可以吸收所有入射的紫外线，从而将脉动的光通量转变为温度的周期性变化。然后，可以根据气体方程将温度的变化转化为压力的变化，再由电容式传感器检测，放大后指示被测气体浓度。

　　紫外吸收分析仪除电容传感器外，还可作为量子红外传感器，直接检测紫外光。采用紫外干涉滤光片进行波长选择，可调激光器为光源，构成了一种新型全固体紫外气体分析仪。该分析仪只需一个光源、一个测量室和一个紫外线传感器即可测量气体浓度。此外，如果使用多个不同波长的滤片，可以同时测量多组分气体中各种气体的浓度。