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CF4气体分析仪的技术特点

时间:2024-11-28      阅读:685

CF4气体分析仪是一种专门用于检测和分析四氟化碳(CF4)气体的设备。以下是关于CF4气体分析仪的详细介绍:
 
一、主要功能
 
CF4气体分析仪能够实时、准确地测量环境中CF4气体的浓度。它广泛应用于半导体制造、环境监测、工业安全等领域,对于确保生产过程的稳定性、保护环境和保障人员安全具有重要意义。
 
二、工作原理
 
CF4气体分析仪主要基于光声光谱技术进行检测。该技术利用量子级联激光(QCL)光源发出特定波长的红外光,照射到含有CF4气体的样品池中。CF4气体吸收光能后会产生声信号,该声信号被超灵敏悬臂梁光学麦克风技术捕捉并转化为电信号。通过测量电信号的大小,可以计算出CF4气体的浓度。
 
三、技术特点
 
高灵敏度:CF4气体分析仪能够探测到极低浓度的CF4气体,检测下限通常低于0.1ppb(partsperbillion,十亿分之一)。
 
高稳定性:由于采用了先进的光声光谱技术和超灵敏悬臂梁光学麦克风技术,CF4气体分析仪具有高稳定性,校准周期长达几个月甚至几年。
 
快速响应:CF4气体分析仪的响应时间通常很短,可以根据需要设置从几秒到几分钟不等,以便及时捕捉到CF4气体浓度的突然变化。
 
无耗材:CF4气体分析仪在检测过程中不需要消耗品或湿化学试剂,降低了运行成本。
 
易于操作:CF4气体分析仪通常配备有直观的用户界面和显示屏,可以数字式或图线式显示检测结果,方便用户进行监测和分析。
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