一、技术原理对精度的影响

 

CF4气体分析仪可能采用多种技术原理，包括但不限于电化学原理、红外光声光谱原理等。

 

电化学原理：

 

采用电化学传感器的CF4气体检测仪，如某些管道式CF4四氟化碳气体检测仪，其精度可以达到一定的水平。例如，某款产品的常规量程为0-10PPM，高分辨率0.01PPM，精度为3%。

 

电化学原理的CF4气体分析仪具有响应速度快、测量范围广等优点，但其精度可能受到温度、湿度等环境因素的影响。

 

红外光声光谱原理：

 

基于红外光声光谱技术的CF4气体分析仪，如DKGONE-CF4分析仪，其精度通常更高。这类分析仪结合了超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术和量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰，提供了足够的灵敏度来探测最微小浓度的CF4溢出。

 

红外光声光谱原理的CF4气体分析仪具有高精度、高稳定性、长校准周期等优点。例如，DKGONE-CF4分析仪的检测限可以低于0.1ppb，动态量程可达典型5级（100,000倍检测限），重复性小于1%的测量值（在工作条件标准浓度下），准确度取决于校准浓度标准气体的精度，典型为2~5%。

 

二、设计对精度的影响

 

CF4气体分析仪的设计也会影响其精度。例如：

 

仪器的防爆等级、气体接口设计、采样方式（如管道式、泵吸式、扩散式）等都会影响仪器的测量精度。

 

仪器的分辨率也是影响精度的重要因素。高分辨率的仪器能够更准确地测量CF4气体的浓度。