美国MKS R系列真空闸阀针对半导体和一般真空应用中的粗抽泵和粗抽管线的隔离进行了优化。R 系列闸阀提供多种选择，包括气动和手动执行器、锁定挂牌功能和位置指示器。R 系列闸阀采用弹性体轴封代替波纹管密封，可在具有成本效益的高价值封装中实现高性能，适用于粗加工真空应用。

美国MKS R系列真空闸阀工作原理介绍如下：

闸阀的启闭件是闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，闸阀只能作全开和全关，不能作调节和节流。闸板有两个密封面，常用的模式闸板阀的两个密封面形成楔形、楔形角随阀门参数而异，通常为5°，介质温度不高时为2°52'。楔式闸阀的闸板可以做成一个整体，叫做刚性闸板；也可以做成能产生微量变形的闸板，以改善其工艺性，弥补密封面角度在加工过程中产生的偏差，这种闸板叫做弹性闸板。闸阀关闭时，密封面可以只依靠介质压力来密封，即依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封，这就是自密封。大部分闸阀是采用强制密封的，即阀门关闭时，要依靠外力强行将闸板压向阀座，以保证密封面的密封性。闸阀的闸板随阀杆一起作直线运动的，叫升降杆闸阀，亦叫明杆闸阀。通常在升降杆上有梯形螺纹，通过阀门顶端的螺母以及阀体上的导槽，将旋转运动变为直线运动，也就是将操作转矩变为操作推力。开启阀门时，当闸板提升高度等于阀门通径的1：1倍时，流体的通道*畅通，但在运行时，此位置是无法监视的。实际使用时，是以阀杆的顶点作为标志，即开不动的位置，作为它的全开位置。为考虑温度变化出现锁死现象，通常在开到顶点位置上，再倒回1/2－1圈，作为全开阀门的位置。因此，阀门的全开位置，按闸板的位置即行程来确定。有的闸阀，阀杆螺母设在闸板上，手轮转动带动阀杆转动，而使闸板提升，这种阀门叫做旋转杆闸阀，或叫暗杆闸阀。

美国MKS R系列真空闸阀具有DN80、DN100 和 DN160 尺寸
不锈钢或铝制版本
允许低真空泵在前级维护期间保持运行
高性能加热器选项

美国MKS R系列真空闸阀规格：
类型R 系列闸阀
密封材料标准：Viton® (FKM)
可选：Chemraz®、Kalrez® 化合物
驱动双作用气动或手动
启动时间< 2 秒
执行器温度10 至 80°C
限位开关磁簧开关：额定电流 < 80mA
压力范围1*10 -7至 1200 托（1.3* 10 -10 - 1.6 巴）
执行器密封弹性轴封
电磁铁温度10 至 50°C
体温Viton 密封件：10°C 至 105°C
可选密封件：10°C 至 150°C
气压5.4 ±1.3 大气压（80 ±20 psig）
侧漏率1*10 -9 atm*cc/秒
外部泄漏率1*10 -9 atm*cc/秒
最大压差 - 运行<22.5 Torr (30 mbar) 腔侧高*
<22.5 Torr (30 mbar) 泵侧高
*阀门可在高达 760 Torr (1 bar) 腔侧高的情况下运行，但运行 >30 mbar 会缩短循环寿命。
最大压差 - 关闭1.6 atm，任一方向
暴露材料不锈钢：304L SS、316L SS、440C SS、Krytox LVP
铝：6061 AL、304L SS、316L SS、440C SS、Krytox LVP
维护DN80：维护前 200,000 次循环
DN100：维护前 200,000 次循环
DN160：维护 100,000 次循环
MTTR：15 分钟；无需从真空系统中拆卸即可进行维修

东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司，厂家一手货源，详请致电。