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HYDAC压力传感器工作原理你了解多少?

时间:2023-01-04      阅读:378

HYDAC压力传感器工作原理你了解多少? 

    在选择贺德克压力传感器的时候我们要考虑他的综合精度,而压力传感器的精度受哪些方面的影响呢?其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们注意说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。

首先的偏移量误差:由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。

其次是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。

第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。

最后是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。

HYDAC压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一定的误差校准,尽最大的可能来降低误差以满足客户的需要。

  贺德克压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件(或应变计)组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变,然后由位移敏感元件(见位移传感器)或应变计(见电阻应变计、半导体应变计)转换为与压力成一定关系的电信号。有时把这两种元件的功能集于一体,如压阻式传感器中的固态压力传感器。

  贺德克压力传感器是检测气体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称,也包括丈量高于大气压的压力计以及丈量低于大气压的真空计。力敏传感器的种类甚多、传统的丈量方法是利用弹性元件的形变和位移来表示,但它的体积大、粗笨、输出非线性。随着微电子技术的发展,利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性,研制出半导体力敏传感器,主要有硅压阻式和电容式两种,它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点,因此半导体力敏传感器得到广泛应用。当对一块半导体在某一晶向上施加应力时,其电阻率会产生一定的变化。这种导体电阻率变化和应力之间的相互关系称为半导体压阻效应,利用此效应制成的力学量传感器称为压阻式力敏传感器,它有两种类型,一类是将半导体应变计粘贴在弹性元件上制成的传感器,称为粘贴型压阻式传感器,另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻,使应变计与硅衬底形成同一整体的传感器,称为扩散型压阻式传感器。

  贺德克压力传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英(二氧化硅)是一种自然晶体,压电效应就是在这种晶体中发现的,在一定的温度范围之内,压电性质一直存在,但温度超过这个范围之后,压电性质*消失(这个高温就是所谓的 “ 居里点 ” )。由于随着应力的变化电场变化微小(也就说压电系数比较低),所以石英逐渐被其他的压电晶体所替换。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系数,但是它只能在室温顺湿度比较低的环境下才能够应用。磷酸二氢胺属于人造晶体,能够承受高温顺相当高的湿度,所以已经得到了广泛的应用。

  压电效应是贺德克压力传感器的主要工作原理,贺德克压力传感器不能用于静态丈量,由于经过外力作用后的电荷,只有在回路具有无穷大的输进阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的,所以这决定了压电传感器只能够丈量动态的应力。

  压电传感器主要应用在加速度、压力和力等的丈量中。压电式加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击丈量中已经得到了广泛的应用,特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来丈量发动机内部燃烧压力的丈量与真空度的丈量。

  贺德克压力传感器主要应用在加速度、压力和力等的丈量中。压电式加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击丈量中已经得到了广泛的应用,特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来丈量发动机内部燃烧压力的丈量与真空度的丈量。也可以用于*事产业,例如用它来丈量在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来丈量大的压力,也可以用来丈量微小的压力。

  贺德克压力传感器也广泛应用在生物医学丈量中,比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的,由于丈量动态压力是如此普遍,所以压电传感器的应用就非常广泛。除了压电传感器之外,还有利用压阻效应制造出来的压阻传感器,利用应变效应的应变式传感器等,这些不同的压力传感器利用不同的效应和不同的材料,在不同的场合能够发挥它们*的用途。

  贺德克压力传感器的发展趋势是进一步提高动态响应速度、精度和可靠性以及实现数字化和智能化等。常用贺德克压力传感器有电容式压力传感器、变磁阻式压力传感器(见变磁阻式传感器、差动变压器式压力传感器)、霍耳式压力传感器、光纤式压力传感器(见光纤传感器)、谐振式压力传感器等。

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