HEIDENHAIN海德汉长度计的应用与测量原理
时间:2015-05-09 阅读:1360
应用广泛
海德汉公司的长度计适用于多种应用。自动检测设备、手动测量站或定位设备-无论是长度、间距、厚度、高度或直线位移都可以用海德汉公司的长度计快速、可靠和的测量。
测量原理
测量基准
海德汉公司的长度计具有量程大、精度高、精度稳定的特点。其技术基础是光电
扫描。海德汉公司的直线光栅尺采用实物测量基准,即玻璃或玻璃陶瓷基体的式或增量式光栅尺。这些测量基准支持大测量范围,对振动和冲击不敏感,并具有确定的温度特性。测量基准的精度不受大气压力和相对湿度变化的影响-这是海德汉公司的长度计能够长期稳定的先决条件。
海德汉公司用特别开发的光刻工艺制造精密光栅。? AURODUR:在镀金钢带上蚀刻线条,典型栅距40 μm? METALLUR:抗污染的镀金层金属线,典型栅距20 μm
? DIADUR:玻璃基体的超硬铬线(典型栅
距20 μm)或玻璃基体的三维铬线格栅(典型栅距8 μm)
? SUPRADUR相位光栅:光学三维平面格栅线条,*抗污能力,典型栅距不超过8 μm
? OPTODUR相位光栅:光学三维平面格栅线条,超高反光性能,典型栅距不超过2 μm
这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅外,而且它刻制的光栅线条边缘清晰、均匀。再加上光电扫描法,这些边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键。母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线
机制造。DIADUR相位光栅,刻线高度约0.25 μmDIADUR光栅
测量步骤
增量测量法的光栅由周期性刻线组成。位置信息通过计算自某点开始的增量数(测量步距数)获得。由于必须用参考点确定位置值,因此光栅尺上还刻有一个参考点轨。参考点确定的光栅尺位置值可以到一个信号周期。因此,必须通过扫描参考点建立基准点或确定上次选择的原点。
测量法是指编码器通电时就可立即得到位置值并随时供后续信号处理电子电路读取。无需移动轴执行参考点回零操作。位置信息来自光栅码盘,它由一系列码组成。单独的增量刻轨信号用于细分处理后得到位置值,同时也能生成供选用的增量信号(与接口类型有关)。光电扫描大多数海德汉公司光栅尺或编码器都用光电扫描原理。对测量基准的光电扫描为非接触扫描,因此无磨损。这种光电扫描方法能检测到非常细的线条,通常不超过几微米宽,而且能生成信号周期很小的输出信号。测量基准的栅距越小,光电扫描的衍射现象越严重。海德汉公司的直线光栅尺采用
两种扫描原理:
? 成像扫描原理用于20 μm至大约
40 μm的栅距。
? 干涉扫描原理用于更小栅距的光栅,
例如8 μm。