2、热式质量流量计：质量流量计(FFM)／质量流量控制器(FFC)用于精密地测量或控制气体的质量流量，热式气体质量流量计的流量传感器管道式热式质量流量计是热式质量流量传感器。热式气体质量流量计由传感器、分流器、主通道及电路板等部分组成，用于测量流量；MFC除了具有与MFM类似的各部件之外，还有一个控制阀门及PID控制电路，它不但能测量流量，还能控制流量。

　　3、热式气体流量计：采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

　　4、气体涡街流量计：主要用于工业管道中气体或蒸汽介质流体的流量测量。气体涡街流量计特点是压力损失小,量程范围大,精度高,在测量工况体积流量时几乎不受流体密度、压力、温度、粘度等参数的影响。无可动机械零件，因此可靠性高,维护量小。仪表参数能长期稳定。气体涡街流量计采用压电应力式传感器,可靠性高,可在-20℃～+250℃的工作温度范围内工作。有模拟标准信号,也有数字脉冲信号输出,容易与计算机等数字系统配套使用,是一种比较先进、理想的流量仪表。

　　5、气体质量流量计：热式气体质量流量计既可进行气体流量计量工作，也可用于过程控制领域。不需要温压补偿，可直接测出流体的质量流量。它的突出特点是：没有可动部件；压力损失小；量程比宽；精度高；可靠性高；安装简单，操作方便。