瑞士VAT高压摆式隔离阀16251-JA41-0001技术参数
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瑞士VAT高压摆式隔离阀16251-JA41-0001技术参数
16.2 高真空摆式隔离阀提供了可靠的隔离性能,并结合了低颗粒数和低颗粒活化。特别平滑的开闭运动造就了优秀的颗粒性能。
它是苛刻工艺中隔离要求的理想选择,例如y应用在蒸发器和溅射中。16.2阀门提供了一个3位气动、单作用带关闭弹簧或标准气动、单作用带关闭弹簧。
由于其特殊的分体式设计,它允许在不拆卸管道连接或工艺室连接的情况下进行维护。其纤细的设计使16.2尺寸的隔离阀可以直接安装在工艺室中,减少了通常在工艺室-阀门-泵连接中所需要的体积。
16.2系列很容易集成到各种真空工艺凭借其坚固的设计和各种设计选项。
16.2系列已经安装在全球数百个不同工艺条件下的批量和在线生产系统中,它在各方面都证明了其出色的性能。
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RICKMEIER瑞克梅尔泵(可提供选型)
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KOBOLD流量计、温度开关
ATOS液压电磁阀、泵、压力继电器
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